Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-D�nnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns

Stephan Barth

ISBN 10: 3959080131 ISBN 13: 9783959080132

Published by TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH, 2015

Language: German

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Title

Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-D�nnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns

Publisher

TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH

Publication Date

2015

Language

German

ISBN 10

3959080131

ISBN 13

9783959080132

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