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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns - Softcover
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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
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TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH, 2015
ISBN 10: 3959080131
ISBN 13: 9783959080132
Used
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Seller: Buchpark, Trebbin, Germany
Seller rating 5 out of 5 stars
Condition: Hervorragend. Zustand: Hervorragend | Sprache: Deutsch | Produktart: Bücher. Seller Inventory # 25730477/1
Quantity: 1 available
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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
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Tudpress Verlag Der Wissenschaften Gmbh Jul 2015, 2015
ISBN 10: 3959080131
ISBN 13: 9783959080132
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Taschenbuch
Seller: BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Germany
Seller rating 5 out of 5 stars
Taschenbuch. Condition: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Der vorliegende Band der 'Dresdener Beiträge zur Sensorik' untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen. 124 pp. Deutsch. Seller Inventory # 9783959080132
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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
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Tudpress Verlag Der Wissenschaften Gmbh, 2015
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ISBN 13: 9783959080132
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Taschenbuch
Seller: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Germany
Seller rating 5 out of 5 stars
Taschenbuch. Condition: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Der vorliegende Band der 'Dresdener Beiträge zur Sensorik' untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen. Seller Inventory # 9783959080132
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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
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ISBN 13: 9783959080132
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Seller: moluna, Greven, Germany
Seller rating 5 out of 5 stars
Condition: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Der vorliegende Band der Dresdener Beitraege zur Sensorik untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Duennschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Duennschichten lassen sich vorteilhaft fuer. Seller Inventory # 449802190
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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
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Tudpress Verlag Der Wissenschaften Gmbh, Tudpress Verlag Der Wissenschaften Gmbh Jul 2015, 2015
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Taschenbuch
Seller: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Germany
Seller rating 5 out of 5 stars
Taschenbuch. Condition: Neu. Neuware -Der vorliegende Band der ¿Dresdener Beiträge zur Sensorik¿ untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.Books on Demand GmbH, Überseering 33, 22297 Hamburg 124 pp. Deutsch. Seller Inventory # 9783959080132
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Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
Print on DemandSeller: preigu, Osnabrück, Germany
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Taschenbuch. Condition: Neu. Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns | Stephan Barth | Taschenbuch | 124 S. | Deutsch | 2015 | TUDpress | EAN 9783959080132 | Verantwortliche Person für die EU: TUDpress, Hüblerstr. 26, 01309 Dresden, mail[at]thelem[dot]de | Anbieter: preigu Print on Demand. Seller Inventory # 104609626
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