Characterization of Silicon Membrane Wafers and Optimization of their Process Stability for Ultra-Thin Chip Fabrication

Angelopoulos, Evangelos

Published by Der Andere Verlag, 2012

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Zustand: Sehr gut | Seiten: 160 | Sprache: Englisch | Produktart: B�cher.

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Title

Characterization of Silicon Membrane Wafers and Optimization of their Process Stability for Ultra-Thin Chip Fabrication

Publisher

Der Andere Verlag

Publication Date

2012

Binding

Hardcover

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Sehr gut

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B�cher

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