Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays - Softcover
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Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays
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Tudpress Verlag Der Wissenschaften Gmbh Mai 2012
(2012)
ISBN 10: 3942710706
ISBN 13: 9783942710701
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Taschenbuch
Quantity: 2
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Book Description Taschenbuch. Condition: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit großen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung von planaren und vertikalen Kammantrieben in einem volumenmikromechanischen Herstellungsprozess detailliert beschrieben. Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand. Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie. Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen. 164 pp. Deutsch. Seller Inventory # 9783942710701
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Neuartiges Bauteilkonzept quasistatisch-resonanter 2D-Mikroscanner für die Zielanwendung ultrakompakter Laserprojektionsdisplays
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ISBN 13: 9783942710701
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Book Description Taschenbuch. Condition: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Die Dissertation präsentiert ein neuartiges Mikroscanner-Bauteilkonzept für Anwendungen der Strahlsteuerung und in ultra-kompakten, hoch-auflösenden Laserprojektionsdisplays. Das Konzept nutzt die Vorteile elektrostatischer Kammantriebe in Bezug auf Miniaturisierbarkeit und Leistungsverbrauch des Scanner-Bauteils bei der Realisierung quasistatisch ausgeführter Scanbewegungen mit großen mechanischen Ablenkwinkeln (bis zu 11.5°). In Kapitel 3 wird das Bauteil- und Technologiekonzept sowie die Bedeutung von Festkörpermechanismen für die kombinierte Fertigung von planaren und vertikalen Kammantrieben in einem volumenmikromechanischen Herstellungsprozess detailliert beschrieben. Kapitel 4 befasst sich mit den theoretischen Grundlagen des statischen und dynamischen Bauteilverhaltens. Den Schwerpunkt bilden neuartige Makromodellierungsansätze zur Erfassung der elektrostatischen, elektromechanisch gekoppelten und fluiddynamischen Domäne bei geringem Modellierungs- und Rechenaufwand. Die hieraus abgeleiteten Modelle werden in Kapitel 5 verwendet um die Eignung alternativer Elektrodengeometrien und Anordnungen zu untersuchen und gegenüberzustellen. Besonders effiziente, neuartige CAVC-Antriebselektroden werden vorgestellt. Kapitel 6 umfasst die Bauteiltechnologie. Der Fokus liegt auf dem für das Aufbaukonzept und die Realisierung vertikaler Kammantriebe zentralen, adhäsiven Waferbondverfahren mittels Benzocyclobuten (BCB). Kapitel 7 stellt ausgewählte Demonstratoren mit ihren charakteristischen Eigenschaften vor. Kapitel 8 befasst sich mit Heuristiken zur Steuerung und Regelung der nichtlinearen Regelstrecke sowie deren Eignung für die Strahlsteuerung und lineares Scannen. Seller Inventory # 9783942710701
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