Items related to Mikrostrukturierte Elektroden: Prozesstechnik und Herstellun...
Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen.
"synopsis" may belong to another edition of this title.
- PublisherVDM Verlag Dr. Müller
- Publication date2010
- ISBN 10 3639252403
- ISBN 13 9783639252408
- BindingPaperback
- Number of pages96
Buy New
Learn more about this copy
£ 44.03
Shipping:
£ 9.98
From United Kingdom to U.S.A.
Top Search Results from the AbeBooks Marketplace
Stock Image
Mikrostrukturierte Elektroden
Published by
VDM Verlag
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
Softcover
Quantity: > 20
Seller:
Rating
Book Description Condition: New. PRINT ON DEMAND Book; New; Fast Shipping from the UK. No. book. Seller Inventory # ria9783639252408_lsuk
Buy New
£ 44.03
Convert currency
Stock Image
Mikrostrukturierte Elektroden
Published by
VDM Verlag 2010-04
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
PF
Quantity: 10
Seller:
Rating
Book Description PF. Condition: New. Seller Inventory # 6666-IUK-9783639252408
Buy New
£ 40.60
Convert currency
Stock Image
Mikrostrukturierte Elektroden: Prozesstechnik und Herstellung (German Edition)
Published by
VDM Verlag Dr. Müller
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
Softcover
Quantity: > 20
Seller:
Rating
Book Description Condition: New. Seller Inventory # ABLING22Oct2817100453541
Buy New
£ 53.77
Convert currency
Seller Image
Mikrostrukturierte Elektroden
Published by
VDM Verlag Dr. Müller
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
Taschenbuch
Quantity: 2
Seller:
Rating
Book Description Taschenbuch. Condition: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen. 96 pp. Deutsch. Seller Inventory # 9783639252408
Buy New
£ 43.54
Convert currency
Stock Image
Mikrostrukturierte Elektroden Prozesstechnik und Herstellung
Published by
VDM Verlag Dr. Müller
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
PAP
Quantity: > 20
Seller:
Rating
Book Description PAP. Condition: New. New Book. Shipped from UK. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. Seller Inventory # L0-9783639252408
Buy New
£ 65.69
Convert currency
Stock Image
Mikrostrukturierte Elektroden Prozesstechnik und Herstellung
Published by
VDM Verlag Dr. Müller
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
PAP
Quantity: > 20
Seller:
Rating
Book Description PAP. Condition: New. New Book. Delivered from our UK warehouse in 4 to 14 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000. Seller Inventory # L0-9783639252408
Buy New
£ 45.39
Convert currency
Seller Image
Mikrostrukturierte Elektroden : Prozesstechnik und Herstellung
Published by
VDM Verlag Dr. Müller
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
Taschenbuch
Quantity: 2
Seller:
Rating
Book Description Taschenbuch. Condition: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen. Seller Inventory # 9783639252408
Buy New
£ 43.54
Convert currency
Seller Image
Mikrostrukturierte Elektroden
Published by
VDM Verlag Dr. Müller
(2010)
ISBN 10: 3639252403
ISBN 13: 9783639252408
New
Kartoniert / Broschiert
Quantity: > 20
Seller:
Rating
Book Description Kartoniert / Broschiert. Condition: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Autor/Autorin: Svarc MarkusMarkus Svarc, Dipl.-Ing.: Studium der Elektrotechnik/Computertechnik an der TU Wien. Wissenschaftlicher Mitarbeiter an der TU Wien, Forschungsbereich: MARC - Methodology for Accurate and Robust Communication SystemsDi. Seller Inventory # 4971140
Buy New
£ 43.54
Convert currency