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Published by VDM Verlag Dr. Müller, 2010
ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
Seller: Antiquariat BuchX, Wolfratshausen, Germany
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Zustand: in gebrauchtem, gutem Zustand, aus Privatbesitz, geringe Lese- Lagerspuren, Altersgemaesse kleinere Maengel sind nicht immer extra aufgefuehrt., Rechnung mit ausgewiesener MwSt.(ISBN 3639252403), Verlag: VDM Verlag Dr. Müller, Ausgabe von 2010-04-22, Einband: Taschenbuch, Seiten: 96 ===== Verkauf an privat, oder Verkauf an Ausland, nur gegen Vorkasse (Bank�berweisung, Kreditkarte, PayPal) ===== ===== derzeit ist es leider nicht m�glich Fotos zu senden ===== , Gewicht 191 g.
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ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
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Published by VDM Verlag 2010-04, 2010
ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
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ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
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Taschenbuch. Condition: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen. 96 pp. Deutsch.
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ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
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PAP. Condition: New. New Book. Shipped from UK. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000.
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PAP. Condition: New. New Book. Delivered from our UK warehouse in 4 to 14 business days. THIS BOOK IS PRINTED ON DEMAND. Established seller since 2000.
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Seller: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Germany
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Taschenbuch. Condition: Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen.
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ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
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Kartoniert / Broschiert. Condition: New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Autor/Autorin: Svarc MarkusMarkus Svarc, Dipl.-Ing.: Studium der Elektrotechnik/Computertechnik an der TU Wien. Wissenschaftlicher Mitarbeiter an der TU Wien, Forschungsbereich: MARC - Methodology for Accurate and Robust Communication SystemsDi.
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ISBN 10: 3639252403ISBN 13: 9783639252408
Seller: dsmbooks, Liverpool, United Kingdom
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