Stock Image

Simulation of Proximity Printing

Péter Bálint Meliorisz

ISBN 10: 3832297421 / ISBN 13: 9783832297428
Published by Shaker Verlag Jan 2011, 2011
New Condition: Neu
From Agrios-Buch (Bergisch Gladbach, Germany)

AbeBooks Seller Since 11 January 2012

Quantity Available: 2
Buy New
Price: £ 42.16 Convert Currency
Shipping: £ 15.31 From Germany to U.S.A. Destination, Rates & Speeds
Add to basket

About this Item

Neuware - Herkömmliche Maskenjustierer bieten eine kostengünstige Alternative zu den teuren Projektionsoptiken in der (Sub-)Mikrometer-Lithographie. In der Massenproduktion wird die einfachere Nahfeldbelichtung für die Herstellung von mikroelektromechanischen bzw. mikro-opto-elektromechanischen Systemen (MEMS bzw. MOEMS) und Flachbildschirmen an-gewendet. Die Nahfeldbelichtung wird auch an Universitäten und Forschungs-zentren häufig verwendet. In dieser Arbeit werden Methoden für die Simulation und Optimierung von Prozessen, die auf der Nahfeldbelichtung basieren, entwickelt und umgesetzt. Der gesamte lithographische Prozessfluss einschließlich Belichtung, Backen (post-exposure bake) und chemischer Entwicklung wird behandelt. Die Modelle berück-sichtigen eine breitbandige und partiell kohärente Belichtung und das Ausbleichen des Photolackes. Die Methoden sind sowohl für zwei- als auch für dreidimensionale Simulationen einsetzbar. Die Arbeit untersucht Techniken zur Verbesserung der Auflösung. Für die Simulation notwendige Lackparameter werden mit Hilfe von Kalibrierung ermittelt. Simulierte und experimentelle Lackprofile werden vergli-chen um die Gültigkeit der umgesetzten Modelle zu bestätigen. 134 pp. Englisch. Bookseller Inventory # 9783832297428

Ask Seller a Question

Bibliographic Details

Title: Simulation of Proximity Printing

Publisher: Shaker Verlag Jan 2011

Publication Date: 2011

Binding: Buch

Book Condition:Neu

Store Description

Visit Seller's Storefront

Terms of Sale:

Allgemeine Geschäftsbedingungen (abebooks.de)

der Firma Agrios Buch- und Medienversand UG e.K. ,Geschäftsführer Ludwig Meier, De-Gasperi-Str. 8, 51469 Bergisch Gladbach nachstehend als Verkäufer bezeichnet.

§ 1 Allgemeines, Begriffsbestimmungen

(1) Der Verkäufer bietet unter dem Nutzernamen Agrios Buch unter der Plattform abebooks.de insbesondere Bücher an. Die folgenden Allgemeinen Geschäftsbedingungen (AGB) gelten für die Geschäftsbeziehung zwischen dem Verkäufer und dem Kunden in ihrer zum Ze...

More Information
Shipping Terms:

Der Versand ins Ausland findet IMMER mit DHL statt. Auch nach Österreich verschicken wir nur mit DHL! Daher Standardversand == Luftpost!


Detailed Seller Information

List this Seller's Books

Payment Methods
accepted by seller

Visa Mastercard American Express

Check PayPal Invoice Bank/Wire Transfer